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如何选购纳米喷镀机真空镀膜设备

来源: 东莞市松井化学科技有限公司 发布时间:2019-06-29 16:21:00 浏览:

  纳米喷镀机的真空镀膜设备主要由真空腔、泵系统、蒸发系统、成膜控制系统等组成。目前,涂料设备已广泛应用于光学、电子、玩具、建材、五金、钟表、汽车、民用饰品等行业。薄膜的制备尤其广泛,各种薄膜被广泛应用于各种光电系统和光学仪器中。如数码相机、双筒望远镜、投影仪、能量控制、光通信、显示技术、干涉仪、卫星导弹、半导体激光器、微机电系统、信息产业、激光生产、各种滤光片、照明工业、传感器、建筑玻璃、汽车工业、装饰品、硬币、镜片等,涂布机与人类生活息息相关。


纳米喷镀

  

  选择和购买纳米喷镀机真空镀膜设备的要点如下:

  

  1.炉体可选用不锈钢、碳钢或其组合而成的双层水冷结构。

  

  2.根据工艺要求,选择了电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等不同的镀膜设备。

  

  3.夹具的运行形式为旋转、旋转和旋转+旋转。用户可以根据基板的尺寸和形状、旋转的速度范围和旋转精度提出相应的要求:一般可调和变频调速等。

  

  4.纳米喷镀机真空系统由机械泵、扩散泵、增压泵、放大泵、罗茨泵、锅轮分子泵等组成,以及各种气动、手动、电动阀门、管道等。

  

  5.根据工艺要求,选择了电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)等电镀方式和形式。对于多弧源(Ф60,Ф80直径靶材,气动、电动的引弧等),真空测量可以选择数字式智能真空计及其高质量的测量规程等测量仪器。如自动压力控制器等。薄膜厚度的测量可选用块电阻测量仪、透光率计等。


纳米喷镀

  

  6.可选择质量流量计、浮子流量计、针阀和相应的充气阀,并可选择多通道充气管道和相应的流量参数。

  

  7.根据烘焙的结构,提出了烘焙温度、烘焙材料及相应的仪器测量方法。

  

  8.根据设备的特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

  

  9.完善的报警系统,如真空室、扩散泵断相、缺水、气压、供电负荷过电压、过流等。


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